พื้นฐานทางแสง: บดละเอียด (แขวนทราย)

①ลดความลึกของชั้นที่ไม่สม่ำเสมอบนพื้นผิวของชิ้นส่วนและปรับปรุงความสม่ำเสมอ

②ปรับปรุงความแม่นยำของรูปร่างพื้นผิวและความแม่นยำมิติที่เกี่ยวข้องของพื้นผิวชิ้นส่วนเพื่อให้เป็นไปตามข้อกำหนดของการขัดเงาสำหรับโครงสร้างพื้นผิวและรูปร่างของชิ้นส่วน

วิธี:

การบดละเอียดของสารกัดกร่อนหลวมและสารกัดกร่อนแบบคงที่

1. บดละเอียดของสารกัดกร่อนหลวม

image.png

การบดละเอียดของชิ้นส่วนออปติคัลโดยทั่วไปจะใช้ทรายสองชิ้นนั่นคือสารกัดกร่อนสองชิ้นที่มีขนาดอนุภาคต่างกัน

ถ้าขนาดเม็ดขัดของทรายเม็ดแรกคือ W28 ขนาดเม็ดขัดของทรายเม็ดที่สองคือ W14

ชิ้นส่วนพิเศษบางชิ้นต้องใช้ทรายสามหรือสี่เม็ดและขนาดเม็ดขัดอาจเป็น W28, W14, W10, W7 เป็นต้นปัจจัยในกระบวนการบดละเอียดส่วนใหญ่ประกอบด้วยประเด็นต่อไปนี้:

①ขนาดสัมพัทธ์ของแม่พิมพ์เจียรนัยและแผ่นกระจก

②ช่วงสวิงของปลอกมือ

③ส่วนขยายด้านหน้าและด้านหลังของปลอกมือ

④การปฏิวัติแกนหมุนและความเร็วในการแกว่งปลอกมือ

2. เพชรบดละเอียดความเร็วสูง

1. เครื่องมือเจียรนัยเพชรความเร็วสูง

สารขัดเจียรละเอียดความเร็วสูงของเพชรทำจากแผ่นเจียรเพชรซึ่งติดกาวไว้ที่ฐานของวัสดุขัดในรูปแบบที่แน่นอนและทำโดยการเจียร

image.png

(1) รูปแบบของแม่พิมพ์เจียรนัยเพชรทรงกลมคือแม่พิมพ์เจียรนูนละเอียดหรือแม่พิมพ์เจียรนัยเว้า ทั้งหมดประกอบด้วยแผ่นเจียรนัยสารยึดเกาะและฐานขัด

image.png

(2) รัศมีความโค้งของแม่พิมพ์เจียระไนเพชรทรงกลมคือขนาดที่ระบุของรัศมีความโค้งของพื้นผิวทรงกลมที่ผ่านกระบวนการหลังจากขัดแล้ว และตามค่ารูรับแสงหลังจากการเจียรอย่างละเอียดรูรับแสงสองสามรูที่ต่ำกว่ารูรับแสงหลังจากขัดเงาเพื่อตัดรัศมีความโค้ง

โดยทั่วไปจะสงวนไว้ 3 ~ 5N สำหรับการเจียรละเอียดความเร็วสูงและ 5-10N สงวนไว้สำหรับการบดละเอียดของสารกัดกร่อนที่หลวม

พื้นผิวทรงกลมนูน: Rcm> Rtm> Rjm1> Rjm2> Rpm

พื้นผิวทรงกลมเว้า: Rcm<><><><>

(3) ตำแหน่งสัมพัทธ์และขนาดของแม่พิมพ์เจียรละเอียดและแผ่นกระจก

1. ตำแหน่งสัมพัทธ์ของแม่พิมพ์เจียรนัยและแผ่นกระจกถูกบดละเอียดด้วยวัสดุขัดแบบหลวม ๆ และพื้นผิวนูนจะถูกติดตั้งบนแกนหมุนของเครื่องมือกล เพชรเจียรละเอียดความเร็วสูงเครื่องมือเจียรเพชรติดตั้งอยู่ที่แกนหมุนของเครื่องมือกล

2. ขนาดสัมพัทธ์ของแม่พิมพ์เจียรนัยและแผ่นกระจก

image.png

3. รัศมีความโค้งฐานของแม่พิมพ์เจียรนัย

image.png

ในสูตรการชกใช้" -" เครื่องหมายและเว้าตายใช้" +" ลงชื่อ.

ประการที่สองการเลือกพารามิเตอร์ลักษณะของแผ่นเจียรละเอียด

(1) การเลือกขนาดของอนุภาคในการเจียรด้วยความแม่นยำความเร็วสูงเครื่องมือขัดเพชรจำเป็นต้องมีทั้งประสิทธิภาพในการเจียรที่สูงขึ้นและความหยาบของพื้นผิวที่ดีขึ้น

สำหรับการเจียรแบบละเอียดครั้งแรกขนาดของแผ่นเจียรเพชรที่เหมาะสมคือ W28 หรือ W20

สำหรับการเจียรนัยครั้งที่สองควรใช้ W10 หรือ W7

หากใช้การบดละเอียดเพียงครั้งเดียว W14 ก็เหมาะสม

image.png

(2) ทางเลือกของความเข้มข้น ความเข้มข้นต่ำเกินไปหรือสูงเกินไปไม่เอื้ออำนวยต่อประสิทธิภาพและคุณภาพของการบดละเอียด ความเข้มข้นที่เหมาะสมที่สุดไม่สม่ำเสมอในและต่างประเทศ ในประเทศคือ 30-50%; ในระดับสากลคิดเป็น 45%

(3) สารยึดติดสำหรับแผ่นเจียรในการเจียรด้วยความแม่นยำความเร็วสูงสารเชื่อมโลหะถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายทั้งในและต่างประเทศรวมถึงสารเชื่อมโลหะบรอนซ์และสารเชื่อมประสานเหล็ก สารเชื่อมโลหะบรอนซ์ส่วนใหญ่จะใช้ในประเทศจีน

(4) รูปร่างและขนาดของแผ่นเจียรละเอียด

รูปร่างของแผ่นขัดเงา: โดยทั่วไปจะกลม แต่ยังเป็นรูปสี่เหลี่ยมผืนผ้าในต่างประเทศ (สหภาพโซเวียต) วงกลมมีสามรูปแบบ: แบนนูนและเว้า

ขนาดของแผ่นเจียร: ส่วนใหญ่หมายถึงเส้นผ่านศูนย์กลางและความหนาของแผ่นเจียร นอกจากนี้ยังมีความหนาของชั้นเพชรและรัศมีความโค้ง

เส้นผ่านศูนย์กลางของแผ่นเจียรละเอียด: ขึ้นอยู่กับรัศมีความโค้งเส้นผ่านศูนย์กลางของแม่พิมพ์เจียรละเอียดและเส้นผ่านศูนย์กลางของแผ่นกระจก

ความหนาของแผ่นเจียรละเอียด: ส่วนใหญ่ขึ้นอยู่กับเส้นผ่านศูนย์กลางของแผ่นเจียรละเอียด

(5) การเลือกอัตราส่วนความครอบคลุม

อัตราส่วนความครอบคลุม: หมายถึงอัตราส่วนของผลรวมของพื้นที่ผิวของแผ่นเจียรละเอียดที่จัดเรียงบนเครื่องมือขัดกับพื้นที่ผิวของลูกทั้งหมดของเครื่องมือขัด

Z - จำนวนชิ้นเจียรละเอียด Ap - พื้นที่ของชิ้นส่วนบดละเอียดแต่ละชิ้น AW - พื้นที่ผิวของลูกเครื่องมือเจียร

การเลือกอัตราส่วนความครอบคลุมส่วนใหญ่ขึ้นอยู่กับรัศมีความโค้งของเครื่องมือขัด

(6) การจัดเรียงของแผ่นเจียรละเอียดควรเป็นไปตามข้อกำหนดต่อไปนี้: เพื่อให้แน่ใจว่ารูปร่างของเครื่องมือเจียรมีเสถียรภาพ ไม่ควรเกิดจุดตายและไม่ควรใส่สารหล่อเย็นเพื่ออำนวยความสะดวกในการกระจายความร้อนและการกำจัดเศษ

1. จัดเป็นวงกลมศูนย์กลาง

มีสองสถานการณ์: หนึ่งคือแผ่นเจียรละเอียดที่อยู่ติดกันสองแผ่นถูกจัดเรียงเซในแต่ละวงกลมศูนย์กลางนั่นคือมีการทับซ้อนกันในแนวรัศมี อีกประการหนึ่งคือระยะห่างของแผ่นเจียรละเอียดที่จัดเรียงบนวงกลมต่างๆไม่เท่ากัน

image.png

2. การเรียงเกลียว

3. กฎการขัดถูในอุดมคติของแม่พิมพ์เพชรทรงกลม อัตราส่วนการสึกหรอ: อัตราส่วนของการสึกหรอของแม่พิมพ์ต่อแก้วและอัตราส่วนของการสึกหรอของแม่พิมพ์ต่อการถอดกระจก สำหรับเหล็กหล่อและแก้วอัตราส่วนการขัดถูคือ 1: 100 สำหรับแผ่นเจียรเพชรคือ 1: 3000

1. ความสัมพันธ์ระหว่างปริมาณการสึกหรอของแผ่นขัดเพชรและงานเสียดสีการสึกหรอของแผ่นขัดเพชรส่วนใหญ่เป็นผลมาจากการกระทำทางกลนั่นคือการสึกหรอการแตกหักการหลุดของอนุภาคเพชรและการสึกหรอของสารยึดเกาะ

การทดลองแสดงให้เห็นว่า:

ในช่วงความดันที่กำหนดการสึกหรอของแผ่นเจียรจะแปรผันตามความดัน

ในช่วงความเร็วหนึ่งการสึกหรอจะแปรผันตามความเร็วในการเจียรที่สัมพันธ์กัน

เมื่อความหยาบผิวเดิมของกระจกเท่ากันปริมาณการสึกหรอของแผ่นเจียรจะแปรผันตามระยะเวลาการเจียรที่มีประสิทธิภาพ

image.png

ในสถานการณ์การสึกหรอในอุดมคติความสัมพันธ์ของโคไซน์ระหว่างการสึกหรอของแต่ละจุดบนพื้นผิวของเครื่องมือขัดดังนั้นเราจึงเรียกกฎการสึกหรอในอุดมคติว่ากฎการสึกหรอของโคไซน์

วิธีการสวมใส่ในอุดมคติ? มีสองวิธีหลัก:

(1) ออกแบบเครื่องมือขัดภายใต้ความเร็วและการกระจายแรงกดที่กำหนดเพื่อให้การจัดเรียงและการกระจายของแผ่นขัดเป็นไปตามกฎการสึกหรอของโคไซน์

(2) เมื่อตั้งค่าเครื่องมือขัดแล้วให้เลือกความเร็วและการกระจายแรงกดที่เหมาะสมเพื่อให้เข้ากับเครื่องมือขัดเพื่อให้บรรลุวัตถุประสงค์ของการสึกหรอของโคไซน์

4. น้ำยาหล่อเย็นในการเจียรนัยเพชรความเร็วสูง

น้ำยาหล่อเย็นเจียรนัยความเร็วสูง Diamond มีหน้าที่หลัก 4 ประการ ได้แก่ การระบายความร้อนการหล่อลื่นการทำความสะอาดและการดำเนินการทางเคมี

หนึ่งผลเย็น

ผลการทำความเย็น: หมายถึงความสามารถของสารหล่อเย็นในการดูดซับและนำความร้อนออกไปเมื่อไหลผ่านพื้นผิวของเครื่องมือขัดและชิ้นงาน

ในบรรดาของเหลวทั้งหมดความร้อนจำเพาะของน้ำมีขนาดใหญ่ที่สุดซึ่งเป็น 2 ถึง 3 เท่าของน้ำมัน เมื่อเดือดที่ความดันบรรยากาศมาตรฐานความร้อนของการระเหยของน้ำจะอยู่ที่ 7 ถึง 15 เท่าของน้ำมัน การนำความร้อนของน้ำคือน้ำมัน 3 ถึง 5 เท่า

2. การหล่อลื่น

การหล่อลื่น: หมายถึงความสามารถในการลดแรงเสียดทานระหว่างเครื่องมือขัดเพชรกับพื้นผิวสัมผัสของชิ้นงานนั่นคือความสามารถในการลดความต้านทานการเจียรและการสึกกร่อน

สามผลการทำความสะอาด

ฟังก์ชั่นการทำความสะอาด: ส่วนใหญ่หมายถึงความสามารถในการกำจัดเศษแก้วและเศษขัดที่ผลิตในกระบวนการผลิตได้ทันเวลา

สี่การกระทำทางเคมี

ในปัจจุบันสารหล่อเย็นที่ใช้กันอย่างแพร่หลายในการบดละเอียดความเร็วสูงในและต่างประเทศส่วนใหญ่เป็นน้ำจากนั้นจึงเพิ่มไตรเอทาโนลามีนกลีเซอรีนนิกเกิลซัลเฟต ฯลฯ จำนวนเล็กน้อยลงในรูปแบบไตรเอทาโนลามีนน้ำกลีเซอรีนน้ำไตรเอทาโนลามีน กลีเซอรีน - น้ำ ฯลฯ สารหล่อเย็นที่ละลายน้ำได้

1. ผลการเหลาด้วยตนเองทางเคมีของสารหล่อเย็นในเครื่องมือขัดเพชร

ทองแดงตัวแทนพันธะในแผ่นเจียรนัยของเพชรสามารถสร้างคาร์บอเนตทองแดงพื้นฐาน 2 ชนิดโดยมีคาร์บอนไดออกไซด์ออกซิเจนในอากาศและน้ำในสารหล่อเย็นชนิดหนึ่งเรียกว่าคราบ [CuCO3 · Cu (OH) 2 · H2O] และอีกชนิดหนึ่ง ชนิดนี้เรียกว่า blue azurite [2CuCO3 · Cu (OH) 2] ,

2. การดูดซับก๊าซคาร์บอนไดออกไซด์โดยสารหล่อเย็น

หลังจากแก้วถูกไฮโดรไลซ์นอกจากฟิล์มเจลกรดซิลิซิคแล้วยังมีการสร้างโซเดียมไฮดรอกไซด์ ทำปฏิกิริยากับคาร์บอนไดออกไซด์ในอากาศเพื่อสร้างโซเดียมคาร์บอเนต เกลือชนิดนี้จะกัดกร่อนผิวกระจก

5. แผ่นด้านบนของชิ้นส่วนออปติคัล 1. แผ่นบนระนาบคู่ขนาน

(1) วิธีการโหลดกาวขี้ผึ้งขัดสน

วิธีที่หนึ่ง:

ก่อนอื่นให้เช็ดแม่พิมพ์ยึดให้สะอาดทากาวยึดติดอีกชั้นหนึ่งหลังจากให้ความร้อนแล้ววางบนชิ้นงานที่อุ่นไว้แล้วเพิ่มแรงกดเพื่อบีบกาวส่วนเกินออก

คุณสมบัติ: วิธีนี้มักใช้ในกระบวนการบดหยาบของแผ่นด้านบนและการบดละเอียดของแผ่นด้านบนสำหรับชิ้นส่วนที่ไม่ต้องการความขนานของรูรับแสงสูง

วิธีที่สอง:

image.png

ก่อนอื่นให้เช็ดแม่พิมพ์เชื่อมให้สะอาดจากนั้นใส่ชิ้นงานที่ทำความสะอาดแล้วโรยกาวแป้งลงบนช่องว่างของชิ้นส่วนให้ความร้อนกับแม่พิมพ์เชื่อมเพื่อให้กาวยึดติดละลายและแทรกซึมจากขอบของชิ้นส่วน

ข้อดี: ใช้งานง่าย

ข้อเสีย: ความขนานไม่สูงและไม่เหมาะสำหรับชิ้นบาง ๆ ที่มีความแม่นยำของพื้นผิวสูง

(2) วิธีการจ่ายและการวาง

image.png

image.png

ทำให้ชิ้นงานร้อนถึงอุณหภูมิที่สามารถติดแถบกาวได้และจัดแถบกาวให้เท่ากันตามขนาดของชิ้นงาน หลังจากระบายความร้อนแล้วให้ติดลงบนแม่พิมพ์จัดวางจากนั้นใส่แม่พิมพ์เชื่อมแบบอุ่นปล่อยให้มันตกลงมาตามธรรมชาติบนแถบกำหนดตำแหน่งรอบแม่พิมพ์ตำแหน่งและหลังจากระบายความร้อนตามธรรมชาติแล้วให้ดึงแผ่นกระจกลงในแนวนอน

ข้อดี: สามารถรับรูปร่างพื้นผิวที่ดีกว่า (N=0.5) และความขนาน (θ=30')

ข้อเสีย: ไม่สามารถทนต่อสภาวะการประมวลผลแรงดันสูงและความเร็วสูงกลัวการสั่นสะเทือนและต้องการการไล่ระดับอุณหภูมิภายในที่สูงขึ้น

(3) วิธีการโหลดกาวลอย

image.png

ทำความสะอาดแผ่นยึดก่อนจากนั้นจึงใส่ชิ้นส่วนที่ทำความสะอาดแล้ว หากเป็นพื้นผิวขัดมันคุณจะเห็นรูรับแสงที่ชัดเจนจากนั้นจึงหยอดกาวลงในช่องว่างระหว่างชิ้นส่วน หลังจากระบายความร้อนแล้วให้ขูดกาวบนพื้นผิวของชิ้นส่วนที่จะดำเนินการ

ข้อดี: ชิ้นงานและแผ่นยึดไม่จำเป็นต้องได้รับความร้อนและชิ้นงานสามารถบรรลุความเท่าเทียมกันและความแม่นยำของพื้นผิวที่สูงขึ้น (N≤0.5, θ≤10')

ข้อเสีย: ไม่สามารถทนต่อสภาวะการประมวลผลความเร็วสูงและแรงดันสูงเคลื่อนย้ายได้ง่าย

(4) วิธีการโหลดภาพถ่ายพลาสติก

image.png

หลังจากเช็ดพื้นผิวยางมันวาวของชิ้นส่วนแล้วให้วางลงบนแผ่นรองยางมันเพื่อแสดงรูรับแสงที่ชัดเจนและใช้แรงกดเล็กน้อยจากด้านใดด้านหนึ่งของชิ้นส่วน หากมีฟองอากาศหรือจุดสีขาวบนพื้นผิวของกาวให้ใช้ตะเกียงแอลกอฮอล์เพื่อให้ความร้อนแก่ชิ้นงานจากนั้นลอกกาวออกและทำความสะอาดอีกครั้งจากนั้นทากาวให้เสร็จอีกครั้ง

ข้อดี: ความขนานและความเรียบสามารถเข้าถึงความแม่นยำสูงมาก (N<> ;,=""><>)

ข้อเสีย: มีผลกระทบบางอย่างต่อระดับความบกพร่องของพื้นผิว photoresist กลัวการสั่นสะเทือนรุนแรงเย็นและร้อนอย่างกะทันหัน

ประการที่สองเลนส์บนจาน

(1) รายชื่อที่ยืดหยุ่น

ขั้นแรกให้ทำลูกแล็กเกอร์ไฟตามรูปร่างของเลนส์ใส่ลูกแล็กเกอร์ไฟบนเลนส์ที่อุ่นแล้วนำออกหลังจากทำความเย็นแล้วเช็ดพื้นผิวที่จะดำเนินการตามการจัดเรียงที่กำหนดวางเลนส์ลงในที่วาง ได้รับการเคลือบด้วยน้ำมันบาง ๆ ใส่ในแม่พิมพ์ใส่แม่พิมพ์เชื่อมด้วยความร้อนและรอให้จมลงกับชิ้นส่วนที่วางตำแหน่งบนขอบโดยรอบและนำออกหลังจากเย็นลง

คุณสมบัติ: ขึ้นอยู่กับพื้นผิวที่ผ่านการประมวลผลแม่พิมพ์เชื่อมนั้นง่ายและหลากหลาย

image.png

(2) แผ่นแขวนแบบแข็ง

image.png

ขั้นแรกให้ความร้อนแม่พิมพ์เชื่อมจนถึงอุณหภูมิที่สามารถละลายกาวยึดติดกระดาษพันธะหรือใช้กาวยึดติดเพื่อเคลือบร่องคงที่จากนั้นติดชิ้นงานที่อุ่นไว้แล้วบนแม่พิมพ์เชื่อมและทำให้เย็นลง หากพื้นผิวขัดมันถูกยึดติดควรป้องกัน

คุณสมบัติ: การยึดพื้นผิวเป็นพื้นผิวอ้างอิงกระบวนการโหลดดิสก์นั้นง่ายการบดหยาบสามารถประมวลผลลงในดิสก์และสามารถทนต่อความเร็วและแรงกดที่สูงขึ้นได้ แม่พิมพ์เชื่อมมีความจำเพาะสูงและต้นทุนแม่พิมพ์ในการผลิตสูง

สามแผ่นแขวนปริซึม

(1) วิธีความยืดหยุ่นในการยึดแผ่นแขวนแม่พิมพ์:

หลังจากทำความร้อนชิ้นส่วนแล้วให้ติดแถบสีไฟบนพื้นผิวพันธะ หลังจากที่มันเย็นลงให้จัดเรียงบนแม่พิมพ์แบนตามตำแหน่งของร่องหนีบและวางแถบ จำกัด ที่มีความหนาประมาณ 2 มม. รอบ ๆ แม่พิมพ์หนีบ หลังจากละลายอุณหภูมิของแลคเกอร์แล้วให้วางลงบนชิ้นส่วนที่จัดเรียงอย่างถูกต้องจนถึงขีด จำกัด จากนั้นปล่อยให้เย็นตามธรรมชาติ

วิธีการแข็ง:

เพียงใส่ชิ้นส่วนในร่องแม่พิมพ์หนีบแล้วกดด้วยสกรู หลังจากให้ความร้อนกับแม่พิมพ์หนีบแล้วให้ใช้กาวติดในร่องเชื่อมและวางปริซึมเปล่าที่อุ่นไว้แล้วให้เย็น

ข้อดี: ใช้งานง่ายบนจาน

ข้อเสีย: เหมาะสำหรับชิ้นส่วนที่มีความแม่นยำปานกลางและต่ำและมีข้อ จำกัด บางประการสำหรับชิ้นส่วนที่มีรูปร่างซับซ้อน

(2) แผ่นแขวนพลาสเตอร์

เช็ดพื้นผิวที่จะดำเนินการบนแม่พิมพ์ตำแหน่งที่เคลือบด้วยน้ำมันบาง ๆ และโรยขี้ผึ้งพาราฟินประมาณ 2 มม. ลงบนช่องว่างระหว่างปริซึม ใส่แถบยางรอบแม่พิมพ์วางบนแม่พิมพ์รองรับเทสารละลายยิปซั่มที่ปรับแล้วและจุ่มปริซึมประมาณ 30 มม. หลังจากสารละลายยิปซั่มแข็งตัวแล้วให้ถอดแหวนยางออกแล้วดึงลงจากแม่พิมพ์วางในแนวนอนละลายพาราฟินบนพื้นผิวจากนั้นทาชั้นพาราฟินบนพื้นผิวของแม่พิมพ์ปูนปลาสเตอร์ที่สัมผัสเพื่อป้องกันการกัดเซาะ

คุณสมบัติ: ความคล่องตัวที่แข็งแกร่งความแม่นยำของมุมต่ำ (θ> 3') จำเป็นต้องมีการป้องกันการกัดกร่อนสำหรับพื้นผิวที่ขัดเงา

(3) วางบนจาน

ทำความสะอาดเครื่องมือโฟโตรีซิสต์และวางไว้บนแผ่นรองจากนั้นติดพื้นผิวโฟโตรีซิสต์ปริซึมที่ทำความสะอาดแล้วเข้ากับพื้นผิวโฟโตรีซิสต์ของเครื่องมือ ในขณะนี้ขอบสัญญาณรบกวนที่ชัดเจนปรากฏขึ้น ค่อยๆบีบอากาศบนพื้นผิวโฟโตรีซิสต์เพื่อลบแถบมันจะหายไปและสร้างตัวรับแสง จากนั้นวางเครื่องมือพลาสติกเบาลงบนแผ่นรองพลาสติกเบาและสุดท้ายเคลือบช่องว่างทั้งหมดของพื้นผิวพลาสติกเบาด้วยสีป้องกัน

ข้อดี: สามารถรับความแม่นยำของมุมที่สูงขึ้นได้

ข้อเสีย: ต้องใช้เครื่องมือกาวภาพถ่ายที่มีความแม่นยำสูง สำหรับปริซึมที่มีความต้องการสูงสำหรับข้อบกพร่องของพื้นผิวพื้นผิวของเซลล์แสงมีข้อ จำกัด แผ่นโฟโตรีซิสต์ไม่ควรถูกสั่นสะเทือนอย่างรุนแรงและอุณหภูมิที่เปลี่ยนแปลงอย่างกะทันหัน

(4) ห้อยข้างลำตัว

image.png

พึ่งพาความแม่นยำของมุมและความขนานของร่างกายเพื่อให้แน่ใจว่าชิ้นงานถูกต้อง ในความเป็นจริงแผ่นแขวน photoresist ก็เป็นแผ่นแขวนร่างกายชนิดหนึ่งเช่นกัน กาวชิ้นงานเข้ากับตัวยึดจากนั้นยึดตัวยึดเข้ากับแม่พิมพ์แบน

ข้อดี: ความแม่นยำในการประมวลผลสูง ไม่ใช่เรื่องง่ายที่จะกัดกร่อนพื้นผิวที่ขัดเงา ไม่จำเป็นต้องตัดมุมของชิ้นส่วนเดียวด้วยตนเอง หลังจากที่ชิ้นงานบางชิ้นติดกาวบนตัวเครื่องแล้วพื้นผิวหลาย ๆ ชิ้นสามารถประมวลผลได้อย่างต่อเนื่องโดยการหมุนตัว

ข้อเสีย: ต้องใช้ความแม่นยำของร่างกายสูงและการผลิตที่ยากลำบาก

6. ปัจจัยด้านกระบวนการที่มีผลต่อการบดละเอียด

1. กระบวนการขัดจำนวนมาก

(1) แอมพลิจูดวงสวิงคือแอมพลิจูดสวิงของดายบน ยิ่งวงสวิงใหญ่เท่าไหร่ก็จะยิ่งบดตรงกลางของแม่พิมพ์บนและขอบของแม่พิมพ์ล่าง ดังนั้นควรใช้แอมพลิจูดของวงสวิงให้เหมาะสม

สำหรับแม่พิมพ์แบนระยะแกว่งของแม่พิมพ์ด้านบนจะอยู่ในช่วง 0.45 ~ 0.65 ของเส้นผ่านศูนย์กลางของแม่พิมพ์ด้านล่าง

สำหรับแม่พิมพ์ทรงกลมมุมแกว่งของแม่พิมพ์ด้านบนจะอยู่ในช่วง 0.4 ~ 0.55 ของมุมเปิดแม่พิมพ์ด้านล่าง2γ

(2) ความเบี่ยงเบนระหว่างศูนย์กลางของแม่พิมพ์ด้านบนและศูนย์กลางของแม่พิมพ์ด้านล่างก่อนและหลังปลอกมือ ยิ่งความเบี่ยงเบนมากเท่าใดศูนย์กลางของแม่พิมพ์ด้านบนและขอบของแม่พิมพ์ด้านล่างก็จะยิ่งกราวด์มากขึ้นเท่านั้น

สำหรับเครื่องบินค่าเบี่ยงเบนอาจเป็น 0 ~ 0.1 ของแอมพลิจูดการแกว่ง

สำหรับพื้นผิวทรงกลมคือ 0 ~ 0.4

(3) อัตราส่วนของความเร็วแกนหมุนต่อความเร็วในการสวิงของแม่พิมพ์ส่วนบนคืออัตราส่วนของความเร็วแกนหมุนต่อความเร็วล้อที่ผิดปกติ ยิ่งความเร็วของแกนหมุนมากเท่าไหร่การเจียรขอบของแม่พิมพ์ด้านล่างก็จะยิ่งมากขึ้นเท่านั้น ยิ่งล้อนอกรีตหมุนเร็วเท่าไหร่ส่วนตรงกลางของแม่พิมพ์ด้านบนและแม่พิมพ์ด้านล่างก็จะกราวด์เร็ว

สำหรับเครื่องบินความเร็วของแกนหมุนคือ 0.4 ~ 0.8 เท่าของแอมพลิจูดวงสวิง

สำหรับพื้นผิวทรงกลมความเร็วของแกนหมุนคือ 1 ~ 2.5 เท่าของแอมพลิจูดวงสวิง

(4) เรื่องที่ต้องให้ความสนใจ

①ขนาดอนุภาคของสารขัดควรสม่ำเสมอซึ่งเป็นหนึ่งในกุญแจสำคัญในความแม่นยำและคุณภาพ

②ทุกครั้งที่เพิ่มสารขัดถูควรกระจายอย่างสม่ำเสมอและไม่เหมาะที่จะเพิ่มในกลุ่ม

③ระบบกันสะเทือนแบบขัดไม่ควรบางหรือหนาเกินไปมิฉะนั้นจะเกิดรอยขีดข่วนได้ง่าย

④เมื่อเปลี่ยนวัสดุขัดควรขัดชิ้นงานและแผ่นกระจกให้สะอาดและควรเช็ดทำความสะอาดโต๊ะเครื่องด้วย

⑤หลังจากเสร็จสิ้นการเจียรนัยแล้วให้ใช้แว่นขยายเพื่อตรวจสอบว่ามีหลุมทรายหยาบหรือรอยขีดข่วนบนพื้นผิว

⑥ควรตรวจสอบรัศมีความโค้งหรือความเรียบของพื้นผิวขัดมันบ่อยๆและควรตัดแต่งแม่พิมพ์ในเวลาที่พบว่าการเปลี่ยนแปลงมีขนาดใหญ่

(5) ข้อบกพร่องทั่วไปและสาเหตุ

image.png

2. การขัดด้วยเพชรความเร็วสูง

(1) ความเร็วของแกนหมุนของเครื่องมือเครื่องจักรปริมาณการเจียรของแก้วเป็นสัดส่วนกับความเร็วของแกนหมุนของเครื่องมือกล

(2) ปริมาณการเจียรของกระจกดันของแผ่นกระจกเป็นสัดส่วนกับความดันของแผ่นกระจก

(3) ผลกระทบของเวลาในการประมวลผลปริมาณการบดของแก้วเป็นสัดส่วนโดยตรงกับเวลาในการประมวลผล

(4) ความหยาบผิวเริ่มต้นของชิ้นงานความหยาบผิวเริ่มต้นของชิ้นงานมีผลต่อความแม่นยำของการเจียรละเอียดความเร็วสูง ยิ่งมีความหยาบมากเท่าใดปริมาณการเจียรของแก้วก็จะมากขึ้นและความหยาบจะมากขึ้นหลังจากการบดละเอียด

(5) การจับคู่รูรับแสงการจับคู่รูรับแสงหมายถึงความแตกต่างระหว่างรัศมีความโค้งของดิสก์เลนส์ที่ประมวลผลและรัศมีความโค้งสุดท้ายที่เสร็จสมบูรณ์ โดยทั่วไปดิสก์เลนส์จะมีรูรับแสงที่ต่ำกว่ารูรับแสงสำเร็จรูป 3 ถึง 4 รูรับแสง

(6) อัตราส่วนความครอบคลุมของแผ่นเจียรเพชรจะแปรผกผันกับปริมาณการเจียรนัย สำหรับพื้นผิวทรงกลมขนาดใหญ่อัตราส่วนการครอบคลุมจะน้อยกว่าและสำหรับพื้นผิวทรงกลมขนาดเล็กอัตราส่วนการครอบคลุมจะใหญ่กว่า